Zespół Innowacji, Technologii i Analiz

Charakterystyka właściwości fizyko-chemicznych

 

Elipsometria spektroskopowa

Technika

Elipsometria spektroskopowa

Nazwa aparatu/producent 

Elipsometr /SE 850E/SENTECH

Warunki pomiaru 

  • Zakres spektralny od 240 nm do 2500 nm,
  • Zakres temperaturowy pracy elipsometru powyżej 20 ºC,
  • Próbki w formie cienkich warstw na równym podłożu (np. szkło mikroskopowe, lub krzem polerowany),
  • Podłoże przed naniesieniem warstwy powinno być poddane analizie, lub na podłożu powinno być zostawione czyste miejsce (ok 0,5 cm2),
  • Próbka w postaci warstwowej typu sandwich powinna być przygotowana w formie "schodków", a każda warstwa powinna mieć odkryte ok 0,5 cm2 do przeprowadzenia pomiaru,
  • Cienkie warstwy nie powinny być grubsze niż 1,5 mikrometra.

Co pozwala określić 

  • Grubość cienkiej warstwy z dużą dokładnością (zależnie od próbki dokładność od 0,5 do kilku nanometrów),
  • Możliwość mapowania całej powierzchni próbki z użyciem mikrospotów i przedstawienia jej geometrii w formie obrazu trójwymiarowego,
  • Możliwość określenia zakresu nierówności próbki, mapa nierówności na całej powierzchni próbki),
  • Parametry optyczne (współczynnik załamania światła, współczynnik ekstynkcji, funkcje dielektryczne, szerokość przerwy energetycznej, widmo transmisyjne - mierzone w modzie transmisyjnym, przewodnictwo optyczne).
  • Współczynnik rozszerzalności cieplnej - określany z zależności przyrostu grubości od temperatury.
  • Temperaturę zeszklenia -zależnie od próbki, zmiana współczynników optycznych z temperaturą.
  • Skład procentowy składników mieszaniny (muszą być zmierzone materiały wyjściowe).
Nasza strona internetowa używa plików cookies (tzw. ciasteczka) w celach statystycznych i funkcjonalnych. Użytkownik może zaakceptować pliki cookies albo wyłączyć je w przeglądarce.
Więcej informacji Ok